ESDP变螺距干式螺杆真空泵

- ESDP variable pitch dry screw vacuum pump

ESDP干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线，动力节省30%，排气温度低，工艺稳定，干式螺杆泵产品适用于各种领域的真空工艺，也维持了z u i 佳的真空效率和耐用性。ESDP系列不使用油和水，用可变压缩方式操作，水蒸气和液态混合工艺，非常适合干燥，溶剂回收，化工，制药，塑料等各种真空工艺。

特点

■ ESDP干式螺杆真空泵优点及特征

1.吸入效率(提升15%)。

2.排气效率改善(2级可变，连续可变频率)。

3.极限压力：1*10-2Torr(托)。

4.排气温度降低50%。

5.电力消耗减少30%。

6.不使用油和水，不会造成油和水的污染。

7.低功耗、低噪音、低振动，动平衡好，没有惯性力，可高速运行。

8.设计结构简单，易保养，维修费用低，寿命长。

9.适用范围广，具有高真空性能。

10.使用寿命长，气体接触部位都具有聚四氟乙烯、镍和哈氏合金涂层(部分工艺可选用特种材质解决腐蚀问题)。

11.唇型密封和机械密封等多种密封方式，满足不同的工艺应用。

12.前后采用稀有润滑方式，提高轴承耐用性。

　　■ ESDP干式螺杆真空泵概述

　　极限压力完全无油无水

　　ESDP干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线，动力节省30%，排气温度低，工艺稳定，干式螺杆泵产品适用于各种领域的真空工艺，也维持了**佳的真空效率和耐用性。

　　ESDP系列不使用油和水，用可变压缩方式操作，水蒸气和液态混合工艺，非常适合干燥，溶剂回收，化工，制药，塑料等各种真空工艺。

典型应用

　　■ ESDP干式螺杆泵的应用范围

　　●ESDP系列在半导体合成及液晶生产上的应用，主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺，液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0，以保护工件免受污染。

　　● 在石油化工中，主要是抽取可凝性气体，或有毒气体，或腐蚀性气体，或含有微尘的气体。

　　●制药行业，用于药物的真空干燥，药物中间体回收，回收气体消毒剂，为人造器官提供清洁无菌条件等。

　　●化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工艺

　　●工业排气;集中式真空处理系统

　　●挤出机的混合工艺及板材的排气工艺

　　●混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染，及喷射器中的阻塞物

　　●食品行业用于香料、香精浓缩，食品包装等。

　　■ ESDP干式螺杆真空泵技术参数